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形成单层纳米结构的方法和器件以及包含这种单层的器件技术
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下载形成单层纳米结构的方法和器件以及包含这种单层的器件的技术资料
文档序号:6319275
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提供了形成纳米结构阵列或对纳米结构阵列形成图案的方法。所述方法涉及在包含纳米结构缔合基团的涂层上形成阵列,用光刻胶形成图案,和/或用器件促进形成阵列。还提供了用来形成纳米结构阵列的相关器件,以及包含纳米结构阵列的器件(例如存储器)。...
该专利属于奈米系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奈米系统股份有限公司授权不得商用。
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