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一种静电容式测力传感器制造技术
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下载一种静电容式测力传感器的技术资料
文档序号:6312200
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本发明揭示了一种静电容式测力传感器,包含:悬臂;联接件,与悬臂通过粘胶粘接;三角星型膜片,具有内圈和外圈,内圈与联接件采用激光焊接的方式相连接;基板,外圈通过铆钉与基板固定联接,基板上与三角星型膜片相接触的一个面上设置第一电极和第二电极,另...
该专利属于李海鹰;刘东方所有,仅供学习研究参考,未经过李海鹰;刘东方授权不得商用。
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