下载多晶硅还原炉进料喷嘴的技术资料

文档序号:6310758

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉进料喷嘴,连接在还原炉底盘的进料口处,所述进料喷嘴上部为喷嘴段,下部为连接段,所述进料喷嘴内部设有喷嘴孔,所述进料喷嘴与还原炉底盘的连接方式为可拆卸式连接,可以根据现场实际情况调节喷嘴大小,简化了工艺调节过程...
该专利属于峨嵋半导体材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过峨嵋半导体材料研究所授权不得商用。

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