下载防尘薄膜组件的技术资料

文档序号:6287627

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本发明的目的在于提供一种光刻用防尘薄膜组件,即使将该防尘薄膜组件贴合在曝光原版上,也能够尽可能降低因为该防尘薄膜组件框架的变形所导致的曝光原版的变形。为了达成上述目的,本发明提供一种光刻用防尘薄膜组件,其特征为,在防尘薄膜组件框架的一端面上...
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