下载用于单晶硅炉的高频电源的技术资料

文档序号:6263025

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本实用新型公开了一种用于单晶硅炉的高频电源,包括主控电路、输入电抗器、三相整流桥、功率模块以及滤波回路,其中功率模块包括依次连接的RC滤波电路、移相全桥ZVS-PWM变换器、高频降压变压器、以及快速二极管整流单元。本实用新型具有体积小,重量...
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