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具有改进加料能力的制造多晶锭的系统技术方案
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文档序号:6255472
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本实用新型公开了一种制造多晶锭的系统,包括:上炉体;下炉体;坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料;至少一个加热器,所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料;坩埚保持器,所述坩埚保持器用于保持所述坩埚;隔热部件;盖板,所述盖...
该专利属于王敬所有,仅供学习研究参考,未经过王敬授权不得商用。
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