下载质谱用涡轮分子泵控制电路的技术资料

文档序号:6249972

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本实用新型公开了一种质谱用涡轮分子泵控制电路,其包括一上位机PC,所述上位机PC通过一通信接口连接一FPGA模块,所述FPGA模块连接一模数转换芯片模块;其还包括一控制电路模块,所述控制电路模块接电源模块,所述控制电路模块包括一涡轮分子泵启...
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