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本实用新型公开一种大规模工业在线生产非晶硅太阳能电池背电极连续镀膜装置。其特征在于在线装置包括中频磁控溅射真空镀膜室和直流磁控溅射真空联线镀膜装置，在其镀制电池背电极ＡＺＯ透明氧化物膜层与金属膜层区域之间设有气体隔离装置，包括气体隔离室、真...
该专利属于深圳市创益科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市创益科技发展有限公司授权不得商用。

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