下载一种硅片浮动压紧装置的技术资料

文档序号:6214055

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本实用新型公开了一种硅片浮动压紧装置,应用于链式制绒酸洗、单面刻蚀、碱洗及清洗设备,其包括与动力源连接的传动轴及与传动轴对应平行的支承轴;在支承轴上套设有至少两个浮动压轮,浮动压轮下边缘与传动轴配合,配合面即构成硅片的传递面;前述结构构成一...
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