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本实用新型涉及一种ＣＣＤ装置辅助定位式晶圆加工用激光划片机，包括有划片机本体，特点是：划片机本体上设有Ｘ／Ｙ轴运动平台，Ｘ／Ｙ轴运动平台上设有θ轴旋转平台，正对θ轴旋转平台之上设有带聚焦镜的Ｚ轴升降平台。聚焦镜顶部的对应位置处设有第一反射镜...
该专利属于苏州天弘激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天弘激光股份有限公司授权不得商用。

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