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一种冶金法N型多晶硅片硼吸杂方法技术
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文档序号:6204623
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一种冶金法N型多晶硅片硼吸杂方法,涉及一种多晶硅。提供一种吸杂效果较好、成本较低、操作简单,适合工业化生产的冶金法N型多晶硅片硼吸杂方法。将冶金法N型多晶硅片清洗,烘干;将得到的硅片在700~1200℃的温度下通入气体进行硼扩散吸杂热处理,...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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