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测量镜面反射表面的相对位置的装置制造方法及图纸
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下载测量镜面反射表面的相对位置的装置的技术资料
文档序号:6198329
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提供了一种用于测量对象的镜面反射面沿测量线的相对位置的装置,包括:光源,所述光源产生会聚于所述测量线上的标称位置处的至少一个光束,并形成来自所述镜面反射面的反射光束;光检测器,所述光检测器在检测器平面处记录所述反射光束的图像;以及数据分析仪...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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