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一种低损耗表面等离子激元光波导制造技术
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文档序号:6165315
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本发明公开了一种具有低传输损耗的表面等离子激元光波导,该波导结构的横截面包括介质基底层(4)、位于介质基底层上的高折射率介质区域(3)、位于高折射率介质区域上的金属层(1)、被高折射率介质区域和金属基底层包围的低折射率介质区域(2)以及包层...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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