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本发明提供一种利用直流磁控溅射技术制备TiN薄膜的方法，包括（1）采用基体材料为高速钢，分别用由粗到细的砂纸打磨，然后抛光，直至表面呈现镜面；（2）将处理后的基体材料浸入乙醇溶液中超声激励10-20分钟，再用丙酮溶液浸浴，用吹风机烘干；（3...
该专利属于天津师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津师范大学授权不得商用。

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