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本实用新型提供了一种石墨电极焊盘。该石墨电极焊盘由石墨盘和铜片组成,石墨盘的底面两侧各设置有一个铜片,石墨盘的两侧均设有安装定位孔、电流均流槽和定位柱,石墨盘的中部分布有器件放置孔。使用时,通过安装定位孔将石墨盘安装在真空室内的电极上,电流...该专利属于山东高唐杰盛半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东高唐杰盛半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种石墨电极焊盘。该石墨电极焊盘由石墨盘和铜片组成,石墨盘的底面两侧各设置有一个铜片,石墨盘的两侧均设有安装定位孔、电流均流槽和定位柱,石墨盘的中部分布有器件放置孔。使用时,通过安装定位孔将石墨盘安装在真空室内的电极上,电流...