下载一种晶棒升降车的技术资料

文档序号:6119961

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本实用新型涉及一种晶棒升降车,该晶棒升降车的晶棒托架活动安装在进给导轨上,进给导轨固定在升降台上;升降台活动固定在升降导轨上,并通过滑轮、升降绳、减速轮在升降导轨上活动,且升降手柄通过转轴与减速轮相衔接;减速轮和导轨分别安装在车架上,车架固...
该专利属于浙江硅宏电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江硅宏电子科技有限公司授权不得商用。

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