下载充气设备的气嘴结构的技术资料

文档序号:6097077

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本实用新型提供一种充气设备的气嘴结构,其与存放半导体组件或光罩的一储存匣连接,用以将气体导入或导出该储存匣,其包含:一管体部,于其顶部外围环设有一凹槽以供容置一弹性套圈,该管体部并具有贯穿该管体部顶端的三个各自独立的第一气体通道且连通贯穿该...
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