下载一种具有分裂阳极结构的SOI-LIGBT器件的技术资料

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一种具有分裂阳极结构的SOI-LIGBT器件,属于半导体功率器件技术领域。包括衬底层、埋氧层、N-基区、位于N-基区两侧的阴极区和阳极区以及位于阴极区之上的栅极区。所述阳极区被隔离槽分裂为第一阳极区和第二阳极区,但第一阳极区和第二阳极区仍保...
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