下载一种提取MOS管沿沟道电荷分布的方法的技术资料

文档序号:6080626

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本发明公布了一种提取MOS管沿沟道电荷分布的方法,应用于MOS管中界面态与栅介质电荷分布的提取。包括:把一个MOS管加入到测试电路中,用电荷泵电流测试法测得应力前后MOS管两条漏端开路或源端开路的电荷泵电流曲线,一条为原始曲线,一条为应力后...
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