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加速度计止挡结构制造技术
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文档序号:6079593
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本发明公开了一种加速度计止挡结构,包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头;面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上,其底部向中心处凹陷;止挡接触头为T字型,T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部,T字尾部穿出至凹陷处外,所述止挡接...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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