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一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法制造方法及图纸
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下载一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法的技术资料
文档序号:6068566
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本发明涉及一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法,包括拼接机构及配套的吸拿工具,通过承载对中桶上的定位螺丝固定等径短圆晶棒或等边方锭,并通过同心度确定装置确保上下叠置的四个等径短圆晶棒或等边方锭的同心度,把四个等径短圆晶棒的四个结晶对称...
该专利属于温州神硅电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过温州神硅电子有限公司授权不得商用。
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