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一种P型中低阻硅芯载体的制作方法,本发明涉及一种P型中低阻硅芯载体的制作方法,尤其是一种用化学气相沉积方法制备高纯度多晶硅过程中,所需要的P型中低阻硅芯载体的制作方法。该方法的特点是包含以下步骤:选取高纯原料硅锭;在原料硅锭端头处钻一柱形孔...
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