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一种射频电路中电感的短路测试装置及短路测试方法:第一金属连线区本体包括第一本体、位于第一本体一侧中部的第一接地金属、及分别位于第一本体另一侧两端的两个第一金属测试衬垫;第二金属连线区本体与第一金属连线区本体结构对称,包括第二本体、第二接地金...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种射频电路中电感的短路测试装置及短路测试方法:第一金属连线区本体包括第一本体、位于第一本体一侧中部的第一接地金属、及分别位于第一本体另一侧两端的两个第一金属测试衬垫;第二金属连线区本体与第一金属连线区本体结构对称,包括第二本体、第二接地金...