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制备低缺陷大面积硅(100)- 2x1重构表面的方法技术
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下载制备低缺陷大面积硅(100)- 2x1重构表面的方法的技术资料
文档序号:6041995
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一种制备低缺陷大面积硅(100)-2x1重构表面的方法,其特征是方法步骤为:第一步,通过直流电源对硅(100)样品实现击穿;第二步,实现硅表面的清洁;第三步,通过分子束淀积技术在清洁的硅表面上生长0.5纳米厚的银层;第四步,使银原子均匀分布...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。
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