下载一种多晶硅铸锭炉安全监控装置的技术资料

文档序号:6025043

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本发明涉及一种安全监控装置,特别涉及一种多晶硅铸锭炉安全监控装置。该多晶硅铸锭炉安全监控装置,包括铸锭炉,铸锭炉上端口通过上法兰与炉体端盖密封连接,铸锭炉内设有铸锭坩埚,其特征是:铸锭炉内对应铸锭坩埚下底部处设有一用于监控铸锭坩埚内硅液外漏...
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