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对材料表面清洁度进行检测的装置包括一带有激光光窗（2）的采样器（1）、密封机构（3）、激光器（4）、真空计（5）、气体成分分析器（6）和真空系统（7）；该方法将被分析样品（8）通过密封机构（3）与采样器连接在一起，采用真空系统（7）对整个检...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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