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本发明提供薄膜太阳电池基板用槽加工工具，在集成型薄膜太阳电池基板的槽形成时，能够抑制槽端部的膜剥离、能够高品质地进行加工、且能够以简单的工序进行槽加工。该槽加工工具(16)是由保持器(15)保持、用于与保持器(15)一起在集成型薄膜太阳电池...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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