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本实用新型公开了一种步进式光刻机的光刻版，该光刻版结合步进式光刻机的工作特点，采用将光刻版BLOK区(0)中步进叠加区(5)及标记叠加区(2)保护处理，将其套准标记(1)布局在窄的划片线(3)内，不占用主管芯(4)面积，较只能将标记设计在宽...该专利属于黑龙江八达通用微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过黑龙江八达通用微电子有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种步进式光刻机的光刻版，该光刻版结合步进式光刻机的工作特点，采用将光刻版BLOK区(0)中步进叠加区(5)及标记叠加区(2)保护处理，将其套准标记(1)布局在窄的划片线(3)内，不占用主管芯(4)面积，较只能将标记设计在宽...