下载对焦方法与装置的技术资料

文档序号:5973016

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本发明提供一种对焦方法与装置,其利用具有高色散以及低色散特性的色散镜组将一宽频光调制成一色散光,再将该色散光投射至一物体上,以形成一物光。经由滤光与分光的程序,使得该物光中对应高色散的波段被用来检测该物体的表面形貌所具有的高度信息。再根据该...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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