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一种高效HF反应通道，包括反应通道体(1)，进气口(2)和出气口(3) 分别设置在反应通道体(1)的下端和上端，其特征在于：所述的反应通道体(1) 由反应通道(4)、反应通道(5)和反应通道(6)三部分组成，进气口(2)设 置在反应通道(4...
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