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精密位移传感装置制造方法及图纸
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下载精密位移传感装置的技术资料
文档序号:5758435
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一种精密检测技术领域的精密位移传感装置,包括:固定框架、一个或多个受激励变形体、一个或多个力变器、激励体和约束导向机构,受激励变形体与力变器交错设置且串联连接于固定框架内,约束导向机构活动设置于固定框架内且平行于受激励变形体与力变器,激励体...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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