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微腔MEMS器件及其制造方法技术
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文档序号:5726909
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本发明提供一种MEM开关,具有在微腔(40)内自由移动的元件(140),并被至少一个电感元件所引导。开关包括:上电感线圈(170);非必需的下电感线圈(190),每个电感线圈都具有优选地由透磁合金制成的磁芯(180,200);微腔(40);...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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