下载氩气净化装置的技术资料

文档序号:5697121

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本实用新型涉及一种氩气净化装置,该装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,原料氩气首先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热,然后进入电加热炉内的反应器中被加热度,反应器的反应管中填充有吸附剂吸附杂质,反应管出来的高温气...
该专利属于苏州市金宏气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市金宏气体有限公司授权不得商用。

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