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本实用新型提供了一种掩模版库机构，包括摩擦阻力小，动作灵活、安全性能好的锁定和解锁机构，以及能够实现掩模版盒平稳可靠和高精度升降的升降机构，其中锁定和解锁机构把一个电机的旋转运动转化成，每两个一组的四个锁销进行相反方向的平移；而升降机构的外...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。