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本发明公开一种边缘环（１５２）以被支撑在炉管（１６０）内的垂直塔（１４０）上的晶圆（３０）的批式热处理。边缘环具有大约重迭晶圆周围的宽度，且可卸地在晶圆之间被等间隔地可卸地支撑在该塔上，以减少热边缘效应。所述边缘环可具有内或外凹部以扣住在支...
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