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液滴分析系统技术方案
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文档序号:5601009
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一种液滴分析/液滴检测系统容许多个印刷头在分析过程中保持静止,以模拟真实的压电式微沉积系统的操作。该系统提供了对单个喷嘴喷射器的准确调整,并且容许与液滴分析/液滴检测系统来并行进行基片的装载和调整。液滴分析/液滴检测系统包括:运动控制器,其...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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