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宽范围的静电中和器和方法技术
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文档序号:5578126
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通过在电离单元或模块中产生具有正负带电离子混合物的离子云,并且重新整形该离子云来提供带电物体的静电中和,其中使用第二电压将离子重新分配至两个相反极性的区域来重新整形离子云。第二电压产生电场,该电场优选位于离子云的邻近处。离子的重新分配增加了...
该专利属于MKS仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器公司授权不得商用。
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