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本申请公开了一种微机电换能器（诸如ｃＭＵＴ）。该换能器（５１１）具有衬底（５０１）、顶板（５０４）和其间的弹性结构（５２０）。弹性结构具有分布在装置元件区上的多个连接器（５３０）以垂直移动、具有分布的支承的顶层。弹性结构（５２０）可以是利用...
该专利属于科隆科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过科隆科技公司授权不得商用。

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