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金属氧化物半导体薄膜、结构和方法技术
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文档序号:5569327
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本发明提供用于改良半导体装置的性能的材料和结构,包括ZnBeO合金材料、ZnCdOSe合金材料、可含有Mg以用于晶格匹配目的的ZnBeO合金材料和BeO材料。ZnBeO合金系统中的Be的原子分数x(即,Zn↓[1-x]Be↓[x]O)可变化...
该专利属于莫克斯特罗尼克斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过莫克斯特罗尼克斯有限公司授权不得商用。
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