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本发明涉及制造电极工具的方法，该方法与传统电极工具制造方法相比，提高了工具导电图案的精度和质量，随之改进了加工后的沟槽图案的质量，延长了工具寿命并减少了制造工艺数。更具体地，提供电极坯，并通过气相沉积或气相沉积聚合对电极坯的加工表面施用薄膜...
该专利属于美蓓亚株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过美蓓亚株式会社授权不得商用。

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