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本实用新型涉及一种真空溅镀机的阴极构造，包含：辅助磁场产生装置，其与真空溅镀机的机架机械性连接，可产生辅助磁场；靶材，其与电场阴极相接并具有内侧面与外侧面，所述内侧面朝向所述辅助磁场产生装置，所述外侧面朝向真空溅镀机的轰击带电粒子；及干扰磁...
该专利属于苏州凡特真空溅镀科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州凡特真空溅镀科技有限公司授权不得商用。

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