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在通过并列运转多座水分生成用反应炉而对应于高纯度水供给量的增大的要求的情况下，本发明能够借助极其简单的孔部件的利用而进行（Ｈ↓［２］）和（Ｏ↓［２］）的混合气体的分流供给，从而能够使混合气体（原料气体）分流装置简单化和大幅降低设备费。即，本...
该专利属于株式会社富士金所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士金授权不得商用。

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