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表面介质阻挡放电等离子体单元和产生表面等离子体的方法技术
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文档序号:5513251
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本发明涉及一种表面介质阻挡放电等离子体单元。该单元包括具有其中布置有内部电极的内部空间的固体介电结构。而且,该单元包括用于与内部电极合作地产生表面介质阻挡放电等离子体的另一电极。该单元还具有沿所述结构表面的气体流路。...
该专利属于荷兰应用科学研究会(TNO)所有,仅供学习研究参考,未经过荷兰应用科学研究会(TNO)授权不得商用。
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