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本发明涉及利用电等离子体的作用处理金属和准金属、金属氧化物和准金属氧化物以及金属氮化物和准金属氮化物表面的设备。本发明包括至少一个电极系统（１），其由位于电介体（４）内部的电极（２）和（３）系统组成。优选在大气压下在它上产生扩散等离子体的电...
该专利属于柯美纽斯大学数学、物理和信息学院所有，仅供学习研究参考，未经过柯美纽斯大学数学、物理和信息学院授权不得商用。

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