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液晶阵列检查装置及拍摄范围的修正方法制造方法及图纸
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下载液晶阵列检查装置及拍摄范围的修正方法的技术资料
文档序号:5498453
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在液晶基板上二维地扫描电子光束并取得拍摄影像,基于该拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查,在该液晶阵列检查过程中,使用借由电子光束来对平台进行拍摄而获得的拍摄影像,求出各电子枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移量,根据求出的位置偏移量来计算...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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