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电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法技术
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文档序号:5493152
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本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82),该电极梳具有至少一个电极指,对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a,90a)的第一电极指子单元(88,90)和具有第二中心纵轴线(88a,90a)的第二电极指子单元(88,90)...
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