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原料供给方法、原料供给装置及使用其的研磨系统制造方法及图纸
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下载原料供给方法、原料供给装置及使用其的研磨系统的技术资料
文档序号:5485569
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本发明提供一种原料供给方法、原料供给装置及使用其的研磨系统,在维持固体原料在液体原料中以适当比例浸渍的状态的同时,能够不发生搭拱现象而定量排出。特征在于,具有垂直姿势的筒状体(4)、设置于筒状体(4)下方且以每次以一定量送出固体原料(6)的...
该专利属于株式会社高井制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社高井制作所授权不得商用。
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