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为了校准坐标测量装置，提供具有已知特性的参考测量对象。记录所述参考测量对象上的多个参考测量值。基于所述参考测量值且基于所述参考测量对象的所述已知特性，确定校准数据，其中所述校准数据包括第一数目的多项式系数，所述第一数目的多项式系数被设计为基...
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