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激光硫族化物相变装置及方法制造方法及图纸
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下载激光硫族化物相变装置及方法的技术资料
文档序号:5475208
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本发明涉及一种供在集成电路中使用的激光激活相变装置,其包括硫族化物熔丝,所述硫族化物熔丝经配置以连接第一经图案化金属线与第二经图案化金属线且定位于层间电介质与过熔丝电介质之间。所述熔丝使在衬底上制造的有源半导体元件互连。一种用于激活所述激光...
该专利属于电子科学工业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过电子科学工业有限公司授权不得商用。
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