下载流体喷射装置的技术资料

文档序号:5474534

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一种流体喷射装置,包括:具有多个流体通道(160)的基板(120;120′);由该基板支撑并且包括多个柔性膜部分(132)的柔性膜(130),其中每个柔性膜部分(132)延伸相应的一个流体通道的长度;多个致动器(140),每个致动器被提供在...
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